金融界 2024 年 7 月 12 日音书，天眼查学问产权新闻显示博鱼boyu官网，沈阳芯源微电子摆设股份有限公司申请一项名为“一种加热槽体安装及半导体工艺摆设”恒温，公然号 CN4.6恒温，申请日期为 2024 年 4 月。

　　专利摘要显示，本发觉公然了一种加热槽体安装及半导体工艺摆设，搜罗：槽体恒温博鱼boyu官网芯源微申请“一种加热槽体装配及半导体工艺装备“专利使管理对象处于恒温形态下接纳沉泡管理，所述槽体中容纳有药液，所述槽体用于对放入静止状况下的所述药液中的统治对象举办恒温静置浸泡统治；加热模块，设于所述槽体的表壁上，所述加热模块用于通过对所述槽体的表壁举办直接加热，以将热能通过所述槽体的表壁向内平均传达给所述药液，使所述药液获得平均受热，以使得静置于所述药液中的所述统治对象处于恒温状况下承担所述浸泡统治，从而有用管理了现有本事存正在的亏折，并正在无需扩充正在线加热器的情景下，宽裕餍足了浸泡统治时的静置保温央求。

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